窒素ガス発生装置 PSA方式 超高純度

標準仕様

型式流量
(mℓ/min.)
窒素仕様騒音値
(db(A))
出口 最大 圧力
(kPa)
入口 最大 圧力
(kPa)
入口/出口 継手形状インターフェース寸法WDH
(mm)
質量
(kg)
電源圧縮空気条件
純度
(%)
HC
(ppm)
DP
(℃)
Particle
(μm)
AT-HPN75075099.9995<0.1<-505040700800入口:1/4"Swagelok 出口:1/8"Swagelok圧力設定
/システムステータス
/各種パラメーター
350×300×40017AC100V 50/60Hz 100Wオイルフリー、ドライエアー 最高常用圧力800kPa
/ 20ℓ/min
本ホームページに記載の仕様は、商品改良のため予告なく変更することがあります。