高純度水素/ゼロエアー発生装置

標準仕様

水素流量
(ml/min)
水素水素 出口最大 圧力(kPa)ゼロエアー 最大 流量
(ml/min)
ゼロエアー仕様ゼロエアー 出口最大 圧力(kPa)出口継手形状寸法WDH
(mm)
質量
(kg)
電源
純度
(%)
HC
(ppm)
HC
(nm)
HC
(m)
水素ゼロエアー
100/160/250/300
/500/600/1000
99.9999<0.19005000<50ppb<50ppb6001/8"
Swagelok
1/4"
Swagelok
W19インチラックEIA規格× D500×H133(3U)15~30kgAC100V 50/60Hz 70~400W(H2)
+50~150W(ゼロエアー)
本ホームページに記載の仕様は、商品改良のため予告なく変更することがあります。